Estrutura da máquina de gravado por plasma

O equipo ICP consta principalmente de catro partes: pre-cámara de baleiro, cámara de gravado, sistema de subministración de gas e sistema de baleiro.

(1) Pre-cámara de baleiro

A función da cámara de pre-baleiro é garantir que a cámara de gravado se manteña a un nivel de baleiro establecido, que non se vexa afectada polo ambiente externo (como o po, o vapor de auga) e que illa os gases perigosos da sala limpa. Consta dunha tapa, un manipulador, un mecanismo de transmisión, unha porta de illamento, etc.

(2) Cámara de gravado

A cámara de gravado é a estrutura central do equipo de gravado ICP. Ten un impacto directo sobre a taxa de gravado, a verticalidade do gravado e a rugosidade. Os principais compoñentes da cámara de gravado son: electrodo superior, unidade de radiofrecuencia ICP, unidade de radiofrecuencia RF, sistema de electrodo inferior, sistema de control de temperatura, etc.

(3) Sistema de subministración de gas

O sistema de subministración de gas debe entregar varios gases de gravado á cámara de gravado e controlar con precisión o caudal e o fluxo de gas a través do controlador de presión (PC) e do controlador de fluxo de masa (MFC). O sistema de subministración de gas consiste nunha botella de fonte de gas, unha canalización de entrega de gas, un sistema de control, unha unidade de mestura, etc.

(4) Sistema de baleiro
Hai dous sistemas de baleiro, un para a cámara de pre{0}}baleiro e outro para a cámara de gravado. A cámara de pre-baleiro é evacuada por unha bomba mecánica. Só cando o nivel de baleiro na cámara de pre-baleiro alcance o valor establecido, se pode abrir a porta de illamento para transferir a oblea. O baleiro na cámara de gravado é proporcionado por unha bomba mecánica e unha bomba molecular. Os gases xerados pola reacción na cámara de gravado tamén son evacuados polo sistema de baleiro.